Овој инструмент усвојува бесконтактен метод на интерферометриско мерење со оптичко поместување на фазата, не ја оштетува површината на работното парче за време на мерењето, може брзо да ја мери тридимензионалната графика на површинската микротопографија на различни работни парчиња и да го анализира и пресмета мерењето резултати.
Опис на производот
Карактеристики: Погоден за мерење на грубоста на површината на различни блокови со мерачи и оптички делови; длабочината на ретикулата на линијарот и бројчаникот; дебелината на облогата на структурата на жлебот за решетка и морфологијата на структурата на границата на облогата; површината на магнетниот (оптички) диск и магнетната глава Мерење на структурата; мерење на грубоста на површината на силиконската обланда и структурата на шемата, итн.
Поради високата мерна точност на инструментот, тој ги има карактеристиките на бесконтактно и тридимензионално мерење и усвојува компјутерска контрола и брза анализа и пресметка на резултатите од мерењето. Овој инструмент е погоден за сите нивоа на истражувачки единици за тестирање и мерење, мерни простории за индустриски и рударски претпријатија, работилници за прецизна обработка, а исто така погоден за институции на високообразовни и научно-истражувачки институции итн.
Главните технички параметри
Мерен опсег на површинска микроскопска длабочина на нерамномерност
На континуирана површина, кога нема висина нагла промена поголема од 1/4 бранова должина помеѓу два соседни пиксели: 1000-1nm
Кога има висинска мутација поголема од 1/4 од брановата должина помеѓу два соседни пиксели: 130-1nm
Повторливост на мерењето: δRa ≤0,5nm
Зголемување на објективната леќа: 40X
Нумеричка бленда: Φ 65
Работно растојание: 0,5 mm
Видното поле на инструментот Визуелно: Φ0.25mm
Фотографија: 0,13×0,13 мм
Зголемување на инструментот Визуелно: 500×
Фотографија (набљудувана со компјутерски екран)-2500×
Низа за мерење на ресивер: 1000X1000
Големина на пиксели: 5,2×5,2µm
Време на земање примероци (скенирање) на мерење: 1S
Стандардна рефлексивност на огледалото на инструментот (висока): ~50%
Рефлексија (ниска): ~4%
Извор на осветлување: блескаво светилка 6V 5W
Бранова должина на филтерот за зелени пречки: λ≒530nm
Половина ширина λ≒10nm
Подигнување на главен микроскоп: 110 mm
Подигнување на маса: 5 mm
Опсег на движење во насока X и Y: ~10 mm
Опсег на ротација на работната маса: 360°
Опсег на навалување на работната маса: ±6°
Компјутерски систем: P4, 2,8G или повеќе, 17-инчен екран со рамен екран со 1G или повеќе меморија